接触式光刻机（Mask Aligner）
HMDS烘箱 （HMDS Oven）
热板 （Hotplate）
涂胶机（Spin Coater）
电子束曝光机（EBL）
感应耦合等离子体刻蚀机（ICP）
反应离子刻蚀机（RIE）
微波等离子体去胶机（Asher）
有机溶剂清洗台（Solvent Wet Bench）
酸碱清洗台（Acid Wet Bench）
显影台（Developing Bech）
UV烘箱（Oven）
等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统
原子逐层淀积（ALD）系统
电子束蒸发(Ebeam Evaporator)
喷金仪(Sputter)
扫描电子显微镜（SEM）
台阶仪（Profiler）
干涉膜厚仪（Thin Film Analyzer）
光学显微镜（Microscope）
霍尔测试系统
快速退火炉（RTP）
箱式退火炉
