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研发实验室湿法区设备:酸碱清洗台(Acid Wet Bench)

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设备编号:WET02

设备名称:酸碱清洗台(Acid Wet Bench)

设备型号:CSE-MX22-0237

主要功能:用于半导体电子元器件制造过程中酸碱腐蚀、清洗等湿法处理工艺。

技术指标:

1)样品尺寸:8英寸及以下;

2)手动清洗台;

3)配备专用酸槽:HF、HCl;

4)水浴加热功能。