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研发实验室湿法区设备:显影台 (Developing Bech)

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设备编号:DEV01

设备名称:显影台 (Developing Bech)

设备型号:CSE-MX22-0235

主要功能:用于半导体电子元器件制造过程中显影等光刻处理工艺。

技术指标:

1)样品尺寸:8英寸及以下;

2)配备水枪、气枪、水槽。