研发实验室湿法区设备：UV烘箱 UV(Oven)

设备编号：UVO01

设备名称：UV烘箱 UV(Oven)

设备型号：Futansi

主要功能：用于半导体电子元器件制造过程中UV胶的固化。

技术指标：

1）样品尺寸：6英寸及以下；

2）腔体充N2；

3）UV光源：UV LED，365nm，385nm，405nm混合，不同波长长度可调，照射强度>15 mW/cm²。