研发实验室高温区设备：快速退火炉（RTP）
设备编号：RTP01
设备名称：快速退火炉（RTP）
设备型号：AS One 100HT
主要功能：主要用于快速热退火工艺。
技术指标：
1）样品尺寸：4英寸晶圆及以下；
2）最高温度：1250 ℃；
3）气路配置：N2、Ar、3%H2/N2；
设备编号：RTP01
设备名称：快速退火炉（RTP）
设备型号：AS One 100HT
主要功能：主要用于快速热退火工艺。
技术指标：
1）样品尺寸：4英寸晶圆及以下；
2）最高温度：1250 ℃；
3）气路配置：N2、Ar、3%H2/N2；
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