研发实验室高温区设备：箱式退火炉
设备编号：BF01
设备名称：箱式退火炉
设备型号：KSL-1750X
主要功能：用于氧化还原、退火、正火、淬火、回火、固溶、时效等热处理工艺等。
技术指标：
1）样品尺寸：8”晶圆及以下；
2）温度：≤1700℃。
设备编号：BF01
设备名称：箱式退火炉
设备型号：KSL-1750X
主要功能：用于氧化还原、退火、正火、淬火、回火、固溶、时效等热处理工艺等。
技术指标：
1）样品尺寸：8”晶圆及以下；
2）温度：≤1700℃。
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