研发实验室光刻区设备：HMDS烘箱 （HMDS Oven）

设备编号；HMD01

设备名称：HMDS烘箱 （HMDS Oven）

设备型号：爱姆加 AD-200

主要功能：能在高温、真空状态下均匀喷洒雾状“HMDS”药液并在氮气保护下烘干以增强基片的光刻性能，达到增强光刻胶粘结牢度，提高光刻质量及良品率的目的。

技术指标：

1）样品尺寸：8英寸及以下；

2）温度：室温——200℃可调。