研发实验室光刻区设备：涂胶机（Spin Coater）

设备编号：PRC01

设备名称：涂胶机（Spin Coater）

设备型号：SUSS Labspin8 TT

主要功能：用于微电子、半导体等领域高精度薄膜涂层的制备。

技术指标：

1）样品尺寸：8英寸及以下；

2）旋涂速度：50-8000 rpm。