研发实验室光刻区设备：电子束曝光机(EBL)

设备编号；EBL01

设备名称：电子束曝光机(EBL)

设备型号：Thermo Fisher Apreo 2 改装

主要功能：用于电子束光刻图形加工。

技术指标：

1）样品尺寸：4英寸及以下；

2）EBL加工制作的最小线宽 80 nm；

3）EBL写场范围0.5 μm×0.5 μm～2 mm×2 mm。