研发实验室量测区设备：扫描电子显微镜（SEM）

设备编号：SEM01

设备名称：扫描电子显微镜（SEM）

设备型号： ThermoFisher Apreo 2 

主要功能：用于工艺过程中，光刻、刻蚀等工艺监控、表面微区的成分分析。

技术指标：

1）样品尺寸：4英寸及以下；

2）分辨率：1 kV分辨率可达0.8 nm，15 kV达到0.7 nm；

3）放大倍数范围为30-1000K倍；

4）EDS功能，表面元素分析范围: Be4～Cf98。