研发实验室量测区设备：台阶仪（Profiler）

设备编号：PRF01

设备名称：台阶仪（Profiler）

设备型号：布鲁克Dektak XT

主要功能：用于晶圆表面台阶高度测量、二维粗糙度的表面表征到高级三维形貌和薄膜应力分析。

技术指标：

1）样品尺寸：8英寸及以下；

2）探针规格:针尖曲率半径2 μm。