研发实验室量测区设备：光学显微镜(Microscope)

设备编号：OPM01

设备名称：光学显微镜(Microscope)

设备型号：奥林巴斯MX63

主要功能：主要应用于观察晶圆图形外貌和量测CD尺寸。

技术指标：

1）样品尺寸：8英寸及以下；

2）模式：明场，暗场，偏光，微分干涉；

3）物镜倍数：5X,10X,20X,50X,100X。